-
معلومات عنا
-
-
-
مورد
تحكم في درجة الحرارة وضغط الهواء في غرف نظيفة من أجل هندسة التنقية
2024-11-26
1. التحكم في درجة الحرارة والرطوبة في الغرف النظيفة
يتم تحديد درجة حرارة ورطوبة المساحات النظيفة بشكل أساسي وفقًا لمتطلبات العملية، ولكن بشرط تلبية متطلبات العملية، يجب مراعاة راحة الإنسان. مع تحسين متطلبات نظافة الهواء، هناك اتجاه يشير إلى أن متطلبات العملية لدرجة الحرارة والرطوبة أصبحت أكثر صرامة.
سيتم سرد المتطلبات الخاصة بالعملية لدرجة الحرارة لاحقًا، ولكن كمبدأ عام، مع زيادة دقة المعالجة، تصبح متطلبات نطاق تقلب درجة الحرارة أصغر وأصغر. على سبيل المثال، في عملية التعريض الضوئي في إنتاج الدوائر المتكاملة واسعة النطاق، يلزم أن يكون الفرق في معاملات التمدد الحراري بين الزجاج و رقائق السيليكون كمواد قناع أصغر وأصغر.
بالنسبة لرقاقة سيليكون قطرها 100 ميكرومتر، فإن ارتفاع درجة الحرارة بمقدار درجة واحدة يسبب تمددًا خطيًا قدره 0.24 ميكرومتر، لذلك يجب الحفاظ على درجة حرارة ثابتة ± 0.1 درجة، وعادةً ما تكون قيمة الرطوبة منخفضة، لأنه بعد تعرق الناس، سيتم تلويث المنتج، خاصة في ورش تصنيع أشباه الموصلات التي تخاف من الصوديوم. يجب ألا تتجاوز هذه الورش 25 درجة.
هناك المزيد من المشاكل التي تسببها الرطوبة الزائدة. عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 55٪، يحدث تكثف على جدار أنبوب ماء التبريد. إذا حدث ذلك في أجهزة أو دوائر دقيقة، فإنه سيسبب حوادث مختلفة. يسهل تكوين الصدأ عندما تكون الرطوبة النسبية 50٪. بالإضافة إلى ذلك، عندما تكون الرطوبة مرتفعة جدًا، سيتم امتصاص الغبار الموجود على سطح رقاقة السيليكون كيميائيًا على السطح بواسطة جزيئات الماء في الهواء، مما يجعل من الصعب إزالته.
كلما ارتفعت الرطوبة النسبية، زادت صعوبة إزالة الالتصاق. ومع ذلك، عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30٪، يتم امتصاص الجسيمات بسهولة أيضًا على السطح بسبب تأثير القوة الكهروستاتيكية، ويكون عدد كبير من أجهزة أشباه الموصلات عرضة للعطل. النطاق الأمثل لدرجة الحرارة لإنتاج رقائق السيليكون هو 35-45٪.
2. لوائح ضغط الهواء في الغرف النظيفة
بالنسبة لمعظم المساحات النظيفة، من أجل منع التلوث الخارجي من الغزو، من الضروري الحفاظ على الضغط الداخلي (الضغط الساكن) أعلى من الضغط الخارجي (الضغط الساكن). يجب أن يتوافق الحفاظ على فرق الضغط بشكل عام مع المبادئ التالية:
1. يجب أن يكون ضغط المساحة النظيفة أعلى من ضغط المساحة غير النظيفة.
2. يجب أن يكون ضغط المساحة ذات مستوى النظافة العالي أعلى من ضغط المساحة المجاورة ذات مستوى النظافة المنخفض.
3. يجب فتح الأبواب بين غرف التنظيف المتصلة إلى غرف ذات مستوى نظافة عالي.
يعتمد الحفاظ على فرق الضغط على كمية الهواء النقي، والتي يجب أن تكون قادرة على تعويض كمية الهواء المتسرب من الفجوة تحت هذا فرق الضغط. لذلك، فإن المعنى المادي لفرق الضغط هو مقاومة الهواء المتسرب (أو المتسلل) عبر فجوات مختلفة في غرفة التنظيف.
السابق:
اتصل بنا
جهات الاتصال:
فيولا
صندوق البريد:
violaquan@dgync.com
واتساب:
+86 18373128025
العنوان:
رقم 6 ، طريق سانحوان ، تشيلينج ، هوتشيه ، دونجوان ، قوانغدونغ ، جمهورية الصين الشعبية 523940
رسالة عبر الإنترنت
إذا كنت مهتمًا بمنتجاتنا ، فيرجى ترك معلومات الاتصال الخاصة بك
تابع وسائطنا
واتساب
SAF Coolest v1.3 设置面板 GAGSD-AGYF-JAAAE-XFD
无数据提示
أنا آسف ، لا يوجد محتوى حاليًا في هذا العمود.!
يمكنك عرض الأعمدة الأخرى أو العودةالصفحة الرئيسية